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반도체공학 [Ion Implantation]

Implantation Diffusion 장점 불순물의 농도를 자유롭게 조절 고용도 이상 주입 가능 다양한 Profile을 만들 수 있다 부산물이 생성되지 않음 낮은 온도에서 진행하기 때문에 추가적인 diffusion을 방지할 수 있다 가격이 저렴하다 대량으로 공정 가능하다 단점 시간이 오래 걸리는 고가의 설비 웨이퍼가 손상된다 챔버가 초 고진공이어야 한다 불순물의 농도가 표면에서 제일 높다 주입 불순물의 고용도 한계 존재 Profile이 열처리를 통해서 erf나 Gaussian에 국한된다. 표면에 SiO2 부산물이 생성된다 열과 소스 제어가 어렵다. 이온 주입기는 위와 같이 5가지의 과정을 거친다. ① Ion Source:플라스마를 이용하여 다양한 이온을 생성한다. ② Mass spectrometer:..

반도체공학 [Diffusion]

diffusion공정은 원하는 불순물 재료를 주입하는 공정이다. 일반적으로 얇지만 높게 도핑된 레이어를 형성하는 것부터 시작한다. 확산공정은 3가지 과정이 랜덤하게 일어난다. Substitutional impurity:빈공간을 치환해서 들어가는 과정 Interstitial Impurity:빈공간을 타고 들어가는 과정 Interstitialcy mechanism: 위의 두 과정의 중간 정도로 빈 공간을 타고 들어가다가 기존 실리콘의 자리를 뺏는다. Fick's 1st Law:확산은 농도차이에 의해 발생한다. Fick's 2nd Law:특정 지역에서 불순물 농도의 시간에 따른 변화율은 flux 차이에 의해 발생한다. diffusion 공정은 제한조건이 두가지로 나뉜다. 가스가 충분할 때는 온도가 확산 공정의..

Development of Electromagnetic MEMS Motor without Winding Wire and Application to Microrobot*

Abstract 더보기 이 논문은 권선이없는 전자기 MEMS 모터를 제안합니다. 개발 된 모터는 MEMS (microelectromechanical systems) 처리 및 다층 세라믹 기술과 결합되어 자기 코어 내부에 소형 3 차원 코일을 형성하는 데 사용됩니다. 개발 된 모터의 길이, 너비, 높이는 각각 11, 11, 7.5mm입니다. 제작 된 MEMS 모터는 0.42V 및 280mA에서 480rpm의 회전 속도로 회전 운동을 보여주었습니다. 또한 개발 된 MEMS 모터를 기반으로 한 마이크로 로봇을 선보인다. 개발 된 모터의 실리콘 구조는 마이크로 로봇의 구조 부품으로 사용됩니다. 모터의 단일 로터는 간단한 기계 시스템을 통해 발자국 동작을 생성합니다. I. INTRODUCTION 소형 액추에이터는..

3D NAND flash & 4D NAND Flash [SK Hynics NEWSROOM 기사 스크랩]

[반도체 WHAT 인포툰] 기술혁신! 3D NAND Flash가 나타났다! 전원이 끊겨도 데이터를 그대로 보존하는 반도체, NAND Flash! 작은 크기와 더불어 강력한 성능을 자랑하고 있답니다. 덕분에 NAND Flash는 다양한 모바일 기기에 탑재되어 우리의 생활을 더욱 편리하게 해주고 있습니다. 더 얇고 고성능을 위해 미세화 작업을 추구하다 보니 어느덧 간섭현상이 심해지며 한계가 찾아오게 되었는데요, 이 미세화의 한계를 해결하기 위해 3차원 수직구조인 3D NAND Flash가 등장했습니다. 혁신 기술인 3D NAND Flash를 잠깐 알아볼까요? [반도체 용어 상식] 3D 낸드플래시의 이해 [궁금한 반도체 WHY] 3D 낸드플래시, 높이 쌓을수록 좋은 걸까? 32단, 48단, 72단… 반도체 관..