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반도체공학[4주차] [산화공정]

산화과정을 설명하는 아레니우스라고 불리는 경험식(실험식)이 있습니다. 산화공정을 이해하고 설계할 수 있어야 합니다. 산화막의 특징에 대해 산화 속도나 품질을 이해하고 적당한 산화공정 산화막을 이해할 수 있어야 한다. 실리콘과 산소가 만나서 산화하는 공정입니다. 결합하기 위해서 실리콘과 산소가 적합한 에너지 상태가 되어야 합니다. 에너지적으로 안정된 상태면 결합하지 않습니다. 화학결합에 충분한 들뜬 상태가 되어야 합니다. 이러한 상태는 화학적으로 불안정한 상태입니다. 안정된 상태는 결합할 수 없습니다. 실리콘은 들뜬 상태로 만들기 어렵습니다. 활성화된 상태로 만들어 주기 위해서는 우리가 열을 줘서 실리콘과 산소를 활성화 시키겠다는것 입니다. 900~1200도의 고온상태로 웨이퍼를 가열하면 웨이퍼 표면이 활..

MFEM&설치하기& glvis 설치하기[MFEM]

MFEM은 무엇인가? MFEM 은 유한 요소 방법을 사용하여 편미분 방정식 을 해결하기위한 오픈 소스 C ++ 라이브러리 로, Lawrence Livermore National Laboratory의 연구원 과 GitHub 의 MFEM 오픈 소스 커뮤니티에서 개발 및 유지 관리합니다 . MFEM은 BSD 라이선스에 따라 출시 된 무료 소프트웨어 입니다. 라이브러리는 유체 역학 ,구조 역학 ,전자기학 ,복사 전달 등의 문제에 적용 할 수있는 유한 요소 솔버를 개발하기위한 빌딩 블록 역할을하는 C ++ 클래스로 구성됩니다. 왜 나는 설치하였는가? dealii는 지나치게 클래스 지향적인 반면에 그래도 MFEM은 코드가 직관적이다. dealii를 사용하겠지만 같이 보면 좋을것 같아서 (교수님 조언...) 설치하게..

수치해석 2021.03.14

반도체공학 [2주차]

www.tel.com/museum/exhibition/process/process1.html How Semiconductor is made | nanotec museum Learn how a semiconductor is manufactured on a level invisible to the eye. www.tel.com 마스크 상의 패턴을 실리콘 웨이퍼의 표면으로 전사시키는 과정이 photolithographic이다. 이 과정에서는 pr이 필요하다. UV빛을 투과시켜서 빛을 받지 않는 패턴들을 전사시키는 것이다. 중간에 이물질이 있다면 원치 않는 패턴들이 만들어질 수 있다. photolithographic 공정은 클린룸에서 이뤄져야 하는 이유이다. 보통 class 100-1000 정도 되는 매우 깨끗..

레이더 공학 [레이다 개념]

레이다는 기본적으로 물체를 탐지하고, 거리를 측정하고, 추적하는 기능을 갖는다. range는 거리라는 뜻을 갖는다. 레이다는 신호를 생성하고 수신하고 처리하고 이해하고 분석한다. 신호를 발생시키는 H/W적인 시스템과 이해&분석하는 S/W 신호처리 시스템으로 나뉘며 우리는 H/W는 간단히 살펴보고 S/W 위주로 공부하게 될 것이다. 신호는 크게 Continuos wave 연속 파, Pused wave 펄스 파, Frequency Modulated wave 세 가지 존재한다. RADAR의 어원은 탐지와 측정이다. 특정 방향으로 전파를 전송하여 되돌아오는 전파를 처리하여 거리, 속도, 각도 등을 파악한다. Target Cross Section은 반사 특성을 의미하며 물체의 고윳값이다. 속도 x시간=거리'로 신..

안테나공학 [2]

자류소스에 대한 벡터 포텐셜도 다뤄보도록 합시다. 원통좌표계에서는 R대신 로우를 사용한다. 대문자 R대신 소문자 r을 사용한다. 시간에 대해서 변화하는 양이다' 라고 얘기할 수 있는데 E라고 하는것이 시간에 대한 함수이면서 공간에 대한 함수다. R은 포지션 벡터인데, x,y,z 있으면 포지션 벡터 p(x,y,z)가 될것이다. x,y,z 값을 갖게 된다. 이 포지션 벡터는 x라는 방향으로 x y방향으로 y , z방향으로 z를 가지고 있으니 포지션 벡터를 표현하는 방법을 알아야한다. 시간에 대한 물리량일 경우 ^이 붙어 있었다. 전자기학에서 나타난것과 안테나에서 했던것과,, 막스웰 방정식을 살펴보면 변화하는 자기장으로부터 회전하는 전기장이 발생한다. 앙페르 주회적분의 법칙 전류가 흐르면 회전하는 방향으로 전..

안테나공학 [안테나의 역사]

1. 전자기학 이론을 기반으로 해서 안테나가 어떻게 동작하는지 계산할 수 있도록 진행하도록 할게요. 2. 두 번째로는 안테나의 fundamental 전원이 있을 때 하나의 안테나에 송신기를 연결해서 안테나가 하나의 전류 소스가 된다. 전류 소스가 안테나 형태에 따라서 분포하게 되는데 전류 소스의 분포가 어떻게 일어나는지 복사가 일어났다고 보고 반사 투과 굴절이 어떻게 일어나는지 보았는데 안테나 공학에서는 안테나 형태에 따라서 전류 형태가 결정되고 전류 형태에서 복사가 어떻게 일어나는지 주로 다룬다. 그린함수를 이용해서 복사 문제를 다루게 된다. 복사 함수라는 것이 general 한 형태를 다루게 되는데 안테나의 전자파 복사라는것은 일단은 원거리 패턴을 갖고 다루게 됩니다. 파장과 안테나 사이즈에 따라서 ..

반도체공학 [1주차]

왜 실리콘으로 반도체가 만들어졌을까요? 반도체는 도체일 수도 있고 반도체 일수도 있습니다. 왜 실리콘을 사용해야 할까요? ⓐ실리콘은 산화'라는 공정을 통해서 고순도의 고품질의 insulator를 만들 수 있다. insulator는 전기가 통하지 않는 것뿐만 아니라 기계적이나 화학적으로 반도체를 보호하는 barrier 역할도 한다. silicon 산화체는 반도체를 선택적으로 식각 하거나 확산하는데 필요한 장벽층으로서 작용한다. 흔히들 말하는 산화물은 '녹'이라는 부정적인 이미지가 있지만 산화는 새로운 산소가 녹아들어가는것을 막는 역할도 합니다. 구매한 실리콘에 얇은 산화층이 덮혀있는것을 알 수 있다. ⓑ실리콘은 지구상에 많기 때문에 재료가 싸다. ⓒ실리콘은 밴드갭이 매우 크기 때문에 갈륨이나 저마늄에 비해..